特色:
配置PID控温程序,2500mm长恒温区
水冷扩散炉体,良好的降温性能,减少环境制冷能耗
φ420大口径,适应166-230大尺寸硅片
双石英炉门密封结构,避免金属离子污染
12C大抽速真空泵,配泵前双过滤系统
增加炉尾匀流板设计,提升炉尾方阻均匀性
产品中心
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邮编:201620