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特色：

• 配置PID控温系统，2500mm长恒温区 

• 温度范围500-1000℃，温度精度≤±0.5℃ 

• φ420大口径，适应166-230大尺寸硅片 

• 三种气体配置，适应TOPCon电池退火需求 

• 水冷缓存架结构，良好的降温性能，减少环境制冷能耗 

• 双石英炉门密封结构，避免金属离子污染